"Полупроводниковое материаловедение"
-
Разработка технологий получение новых полупроводниковых материалов,твердых растворов и многослойных структур;
-
Изучение физико-технологических основ латерального эпитаксиального выращивания полупроводниковых слоев, а также особенностей селективного
эпитаксиального роста
-
Разработка доступной технологии получения структур полупроводник на изоляторе,в частности структур кремний на изоляторе
-
Разработка технологии выращивания полупроводниковых слоев на инородных материалах